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High precision air floating platform system

高精密气浮平台系统

高精细气浮渠道控制系统

High precision air floating platform system

 厂品介绍书:C9000H平行线无刷直流无刷电机安装驱动环境的轴承app在平行表明和的水平表明全部采用了了了很好的预调用整理。它可具备比较突出的高平稳,是方法重载和偏置环境下用的梦想进行。自带的平行线伺服线束无刷直流无刷电机采用了了了零齿槽负效应的无铁芯的结构,无吸万有引力力,具备极其非凡的光滑动作。 性能参数指標:

行程范围:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
驱动系统:  直线伺服电机 (PAEKER-9000-A-668H)
反馈:  非接触直线光栅尺
分辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
最大直线加速度:  2 g -20 m/s2  (无负载)
最大负载:  55.0 kg
连续保持推力:  153.6 N
峰值推力:  742.8 N
全行程精度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
重复定位精度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
直线度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
倾斜度/滚摆/偏摆: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
空气轴承工作压力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空气消耗量: <2 scfm
平台质量: 120.7 kg ~ 156.5 kg